NCF Tech는 성균관대 유지범교수님이 삼성과 공동연구한 탄소기반 EUV 펠리클 소재에 대하여
연구, 개발, 제품화하여 EUV 산업에 기여하고자 설립된 회사로
2023년 7월 NCF Tech 설립 및 법인등기후 EUV 소재, 부품, 장비업체와 연계 및 BIz를 추진할
산학교수의 채용과 조직을 구성하여 추진중입니다.
2022년 9월 탄소기반 EUV 펠리클 산학연구 종료
2014 ~ 2022 (등록 특허 국내 6 건 해외 9건, 출판 논문 11 건)
2022년 8월 NGF Pellicle 100 × 100 mm2 제작 논문등재
(EUV 투과율 87.2%), NANOSCALE ADVANCES
2015년 6월 탄소기반 펠리클 Nano meter thick Graphite Film
(NGF) 최초 논문등재, NANOSCALE
2014년 4월 탄소기반 EUV 펠리클 산학연구 시작
(성균관대 유지범 교수 - 삼성전자 반도체 연구소)