테라는 AMOLED 양산장비를 비롯하여 반도체 제조에 필수적인 고온 열처리 및 CVD 장비를 제공하고 있습니다.
특히 종래의 일반적인 열처리 및 화학 증착 공정에서 발생하는 기술적 한계를 극복하는 혁신적 Solution을 보유한 전공정
장비 전문회사입니다.
상품소개
반도체 및 디스플레이 제조장비주요제품소개
[반도체장비]
-테라의 300mm 반도체 장비는 100~1,350도 넓은 온도 영역대의 열처리 공정과 CVD공정에 대해 수십nm급 최첨단 반도체
양산Line에서의 검증된 기술을 확보하고 있습니다.
[디스플레이 장비]
-테라는 고품질 LCD 및 AMOLED 분야에 새로이 부각되는
LTPS 공정용 Non-laser 결정화 장비와 LTPS 열처리 공정에
필요한 모든 Thermal processing 장비를 제공하고 있습니다.